為適應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,健永科技研發(fā)設(shè)計(jì)一系列半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器設(shè)備,可直接替代歐姆龍V640讀寫(xiě)器,兼容現(xiàn)有半導(dǎo)體設(shè)備(如SECS協(xié)議、Modbus RTU協(xié)議),解決進(jìn)口供應(yīng)鏈不穩(wěn)定的問(wèn)題。并成為半導(dǎo)體制造中晶圓盒追蹤管理的核心工具,尤其適合需國(guó)產(chǎn)化替代或智能化升級(jí)的企業(yè),多場(chǎng)景應(yīng)用案例已驗(yàn)證其在提升生產(chǎn)透明度和良品率中的價(jià)值。
一、健永科技RFID半導(dǎo)體應(yīng)用場(chǎng)景與案例展示
1. JY-V610應(yīng)用在晶圓存儲(chǔ)柜管理
部署方式:半導(dǎo)體讀寫(xiě)器嵌入存儲(chǔ)柜支撐板內(nèi);TI標(biāo)簽方式晶圓盒自動(dòng)識(shí)別。
流程:當(dāng)晶圓盒放入存儲(chǔ)柜時(shí),半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器識(shí)別TI玻璃管標(biāo)簽,獲取晶圓盒的貨品信息,確認(rèn)晶圓盒是否存放正確,同時(shí)獲取晶圓芯片的儲(chǔ)存位置,在必要時(shí)可立即找到所存儲(chǔ)的晶圓,減少人工查找時(shí)間30%以上。
2. JY-V620半導(dǎo)體晶片電子貨架FOUP晶圓盒的應(yīng)用
部署方式:將半導(dǎo)體讀寫(xiě)器部署在電子貨架晶圓盒位置后方;TI玻璃管標(biāo)簽安置在裝載晶片的晶圓盒。
流程:(1)當(dāng)晶圓盒存放至貨位時(shí),識(shí)別位的讀寫(xiě)器將自動(dòng)感應(yīng)部署在晶圓盒的TI玻璃管標(biāo)簽,同時(shí)將數(shù)據(jù)傳輸至上位機(jī),以獲取存放時(shí)間、存放晶圓信息,便于工作人員在系統(tǒng)端快速實(shí)時(shí)查看晶圓存放狀態(tài)。
流程:(2)當(dāng)晶圓取出電子貨架,識(shí)別位的讀寫(xiě)器自動(dòng)感應(yīng)部署在晶圓盒的TI玻璃管標(biāo)簽,同時(shí)將數(shù)據(jù)傳輸至上位機(jī),以獲取取出時(shí)間、晶圓信息,便于工作人員在系統(tǒng)端掌握晶圓的存取情況,實(shí)現(xiàn)庫(kù)存動(dòng)態(tài)可視化。
3. JY-V640在硅晶片清洗工位的應(yīng)用
部署方式:半導(dǎo)體讀寫(xiě)器安裝在晶圓硅片清洗工位的上方;TI標(biāo)簽安裝在晶圓盒的任意合適位置。
流程:當(dāng)裝載硅片的晶圓盒到達(dá)工位時(shí),讀寫(xiě)器自動(dòng)感應(yīng)采集標(biāo)簽信息,判斷具體的晶圓信息及確定是否到達(dá)指定位置;當(dāng)硅片清洗完成后,將讀取到的標(biāo)簽信息上傳至控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)根據(jù)信息下達(dá)命令,進(jìn)行下一道工序,井然有序地根據(jù)指令工作,避免工序出現(xiàn)紊亂情況,減少出錯(cuò)率,并提高清洗效率。
4. JY-V640在晶圓生產(chǎn)線傳送帶管理的使用
部署方式:半導(dǎo)體讀寫(xiě)器部署在生產(chǎn)線傳送帶工位,TI玻璃管標(biāo)簽部署在FOUP晶圓盒。
流程:當(dāng)晶圓盒經(jīng)過(guò)時(shí),讀寫(xiě)器自動(dòng)采集TI玻璃管標(biāo)簽的信息,檢驗(yàn)校對(duì)晶圓盒的信息,跟蹤產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中采用的每一個(gè)工具,掌握每一個(gè)生產(chǎn)步驟所花費(fèi)的時(shí)間,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和優(yōu)化制造過(guò)程。
5.半導(dǎo)體花籃運(yùn)輸?shù)氖褂?/strong>
部署方式:半導(dǎo)體讀寫(xiě)器安裝在AGV小車(chē)倉(cāng)位下方;半導(dǎo)體花籃植入TI玻璃管標(biāo)簽;
流程:當(dāng)AGV小車(chē)進(jìn)行工作時(shí),讀寫(xiě)器自動(dòng)采集放在倉(cāng)位上方的花籃的TI玻璃管標(biāo)簽,確認(rèn)花籃信息,待半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器將花籃的信息上傳到管理系統(tǒng)后,管理系統(tǒng)根據(jù)花籃的信息給AGV小車(chē)下達(dá)運(yùn)輸指令,將花籃運(yùn)輸?shù)较鄳?yīng)的產(chǎn)線進(jìn)行加工或運(yùn)輸?shù)絺}(cāng)庫(kù)進(jìn)行存儲(chǔ)。
6. JY-V640在天車(chē)搬運(yùn)系統(tǒng)的應(yīng)用
部署方式:半導(dǎo)體讀寫(xiě)器部署在軌道節(jié)點(diǎn);TI標(biāo)簽部署在晶圓盒內(nèi)。
流程:當(dāng)天車(chē)搬運(yùn)FOUP晶圓盒經(jīng)過(guò)軌道節(jié)點(diǎn)時(shí),讀寫(xiě)器自動(dòng)識(shí)別晶圓盒內(nèi)的TI標(biāo)簽,為天車(chē)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)采集和傳輸晶圓盒CID載體,確保所搬運(yùn)的FOUP晶圓盒是準(zhǔn)確。與此同時(shí),為天車(chē)的路徑選擇提供了目標(biāo)信息與復(fù)核目標(biāo)的作用:天車(chē)在系統(tǒng)指定調(diào)度下,天車(chē)自動(dòng)行駛到了指定位置,搬運(yùn)晶圓盒,識(shí)別晶圓盒的TI標(biāo)簽,固定、繼續(xù)行駛,如此反復(fù)。
二、相關(guān)設(shè)備
1,JY-V610半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器
134.2kHz工作頻率,HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式,支持Modbus RTU協(xié)議,可讀取TI系列低頻標(biāo)簽,具有出色的讀寫(xiě)性能??赏ㄟ^(guò)RS485通信接口與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備連接。
2,JY-V620半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器
適用于半導(dǎo)體晶圓電子貨架,134.2kHz工作頻率,集天線、放大器、控制器和紅外感應(yīng)器于一體,通過(guò)紅外感應(yīng)觸發(fā)讀卡。
3,JY-V640半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器
面向半導(dǎo)體制造業(yè)與光伏行業(yè)開(kāi)發(fā)的RFID系統(tǒng),134.2kHz工作頻率,HDX工作模式,符合半導(dǎo)體SEMI標(biāo)準(zhǔn),,支持SECS協(xié)議與Modbus RTU協(xié)議,兼容Texas Instruments公司產(chǎn)的CID載體。
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